工作原理
等離子清洗機(plasma cleaner)也叫等離子清潔機，或者等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術，利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質的一種狀態，也叫做物質的第四態，并不屬于常見的固液氣三態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發態的核素（亞穩態）、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、涂覆等目的。
產品特點
觸摸屏操作界面
數字及圖標多重工藝參數實時顯示
蜂鳴器+紅色指示燈報警功能
自動/手動操作模式切換
可存儲多套工藝配方
應用領域
用于不同材料的表面處理
適合于研究所、大學院校、研發中心使用
產品參數
型號 | PM-T5LN01 | PR-T5LN01 | |
控制系統 | 控制方式 | 全自動控制（自動/手動切換） | |
PLC | |||
操作系統 | Windows 10 | ||
觸摸屏 | 7寸 | ||
整機規格 | 尺寸 | W460×D494×H734mm | |
腔體 | 尺寸 | Φ160×D250mm | |
材質 | 316不銹鋼（標配）/鋁合金（可選） | ||
電極 | 尺寸 | W100×D200mm | |
層數 | 1-2層，可選 | ||
托架 | 材質 | 需定制 | |
層數 | 1層 | ||
真空計 | 皮拉尼式真空計 | 1個 | |
流量計 | MFC+浮子流量計 | 1路MFC，1路浮子流量計；Ar、N2、O2（可選） | |
真空泵 | 機械油式旋片泵 | 1套 | |
發生器 | 中頻/射頻 | 40KHz，0~500W | 13.56MHz，0~150W |
額定功率 | 整機峰值功率 | 2KW | |
機臺供電 | 單相三線式 | AC-220V | |
選購品 | 干式泵、氣浴電極（打孔）、托架、接枝氣化儀、防腐密封、腔體加熱、加熱盤、溫度傳感器、H2安全閥、慢速泄氣閥、慢速抽氣閥、鋼瓶減壓閥、水冷電極、冰水機、模溫機、非標法蘭、陶瓷緊固件 | ||
