電漿刻蝕機是一種利用等離子體(電漿)對材料表面進行清洗的設備。產品可以提供穩定的表面處理效果,帶來改性、刻蝕等多種用途。
電漿刻蝕機原理
等離子體(plasma)又叫做電漿,設備的核心就是等離子體,它是很好的導電體,通過磁場可以移動、加速等離子體,通過其特性在材料、能源、環境、物理等多個領域帶來幫助;電漿刻蝕機通過等離子發生器產生的等離子體對產品表面進行處理,與表面進行化學反應生產揮發性物質,在表面形成需要的圖案以及紋路,達到刻蝕的目標。
電漿刻蝕機應用
芯片制造:利用純四氟化碳氣體或四氟化碳與氧氣結合,可在晶圓上形成微米級氮化硅刻蝕,四氟化碳與氧氣、氫氣結合可去除四氟化碳。
電路板制造:隨著行業發展,電路板越來越小,上面孔也越來越小,傳統的藥劑清洗難以處理微孔問題,等離子體具有很強的擴散性,因此產生的刻蝕氣相等離子體可以有效刻蝕微米級孔洞,通過調整工藝參數可以控制咬蝕量。
電漿刻蝕機在很多行業都得到了廣泛應用,解決很多材料表面處理上的難題,廠家可以根據自身需求進行產品定制以滿足生產中的應用。